MEMS 열 질량 가스 유량 센서

열 질량 가스 유량 센서는 MEMS의 열 원리를 사용하여 파이프라인의 가스 질량 유량을 모니터링하는 열 전달 원리에 기반한 일종의 센서입니다.

흐름 칩은 2개의 열전쌍 요소 또는 온도 센서와 가열 저항기 또는 가열 요소로 구성됩니다. 온도 센서는 발열체의 상류와 하류에 대칭적으로 분포되어 있습니다. 발열체와 열전대 스택의 열접점은 절연 베이스에 고정되어 있습니다. 열식 질량 유량 센서의 측정 원리는 센서의 히터와 유동 매체 사이의 열 전달에 의존합니다.

가열 저항은 열전대 스택의 열접점을 가열하고 열접점과 냉접점 사이의 온도 구배는 아날로그 출력 전압을 발생시킵니다. 유체가 정지해 있을 때 가열 저항기의 대칭면의 온도는 동일합니다. 유체가 오른쪽에서 왼쪽으로 흐를 때 등온선은 왼쪽으로 기울어지고 가열 저항의 양면 온도는 더 이상 동일하지 않으며 가열 저항의 양쪽에 있는 열전대 스택으로 온도 차이를 측정할 수 있습니다. .

유체의 열 전달은 유체 질량 및 유체의 열용량에만 관련되기 때문에 센서는 유체 질량 흐름을 직접 측정할 수 있습니다. 가스 질량 유량은 일반적으로 SCCM(Standard Cubic Centimeter per Minute) 및 SLM(Standard Liter per Minute), 즉 분당 표준 밀리리터 및 분당 표준 리터로 측정됩니다.

열 질량 유량 센서의 특징

1)열식 질량 가스 유량 센서는 간단한 구조와 MEMS 센서를 사용합니다. 작은 크기, 낮은 전력 소비 및 쉬운 사용.

2) 압력 손실이 적고 온도 및 압력 범위가 넓은 장점이 있습니다.

3)스플릿 장치를 이용하여 미세유량과 대유량을 정확하게 측정할 수 있다. 다양한 가스의 비례 제어에 사용할 수 있습니다. 자동 흐름 제어도 실현할 수 있습니다.

4) 장기간 사용시 드리프트 없음, 빠른 응답, 우수한 안정성 및 뛰어난 반복성;

5) 온도 보상 및 보정.

6)게다가 Winsen 가스 흐름 센서에 사용되는 칩은 충격과 오염에 견딜 수 있는 최신 기술입니다.

광범위한 응용 분야:

산업 공정 제어, 먼지 입자 계수기, 자동 제어, 의료 장비, 휴대용 기기, 공기질 샘플링 및 환경 모니터링 장비에서 비부식성, 비강산 및 강알칼리 가스를 측정하는 데 널리 사용됩니다.

모델	FR03	FR03H	FR06	FR15
사진
정상 범위(SLM)	0.1/0.2/0.3/0.5	1/2/3/4/5	2020년 10월 15일	0-300
공칭 직경(DN)	DN3		DN6	DN15
출력 신호	선형 1-5V/0.5-4.5V	선형 1-5V/0.5-4.5V 또는 디지털 IIC		선형 아날로그 전압 또는 디지털 IIC
작동 전압	DC5V-14V
정확성	±(2±0.5FS)%		±(2±0.5FS)%	0-9SLM ±0.5SLM, 9-300SLM ±2.5%FS
일의 압박감	사용자 정의 가능	≤200Kpa	사용자 정의 가능	/
작동 온도	0℃~50℃			5℃~60℃
보관 온도	-20℃~80℃
측정 매체	건조하고 깨끗한 비부식성 가스
전기 인터페이스	2.54mm-5P 핀 또는 PH2.0-5P 단자(옵션)			몰렉스 87832-1010
기계적 인터페이스	/	ISO3mm	φ6-G1/8 공압 플러그	/

모델	FR20	F1012	F1031	F1031V
사진
정상 범위(SLM)	150/200/300	0.03/0.05 / 0.1/0.2/0.3/0.5/1	50/100/150/200/300	100/150/200/300
공칭 직경(DN)	DN20	DN3	DN20
출력 신호	선형 1-5V/0.5-4.5V 또는 디지털 IIC	선형 1-5V/0.5-4.5V		선형 0.5-4.5V
작동 전압	DC5V-14V	DC7V-14V	DC7V-14V	DC5V-14V
정확성	±(2±0.5FS)%	±2.5%FS	±2.5%FS	±4%FS
일의 압박감	≤200KPa		≤200KPa
작동 온도	0℃~50℃		0℃~50℃
보관 온도	-20℃~80℃		-20℃~80℃
측정 매체	건조하고 깨끗한 비부식성 가스
전기 인터페이스	PH2.0-5P 단자	2.54mm-5P 핀	PH2.0-5P 단자
기계적 인터페이스	ISO20mm	ISO3mm	ISO20mm