FRn03P 마이크로 플로우 가스 질량 유량 센서
FRn03P 시리즈는 다양한 미세 유량 공정 제어 응용을 위해 설계된 마이크로 플로우 가스 질량 유량 센서입니다.
MEMS 열식 원리를 사용하며, 건조하고 깨끗한 비부식성 가스 측정에 적합합니다. 표면 실장(SMD) 구조로 설계되어 좁은 공간에서의 멀티 센서 집적에 유리합니다.

FRn03P 시리즈는 다양한 미세 유량 공정 제어 응용을 위해 설계된 마이크로 플로우 가스 질량 유량 센서입니다.
MEMS 열식 원리를 사용하며, 건조하고 깨끗한 비부식성 가스 측정에 적합합니다. 표면 실장(SMD) 구조로 설계되어 좁은 공간에서의 멀티 센서 집적에 유리합니다.